Машина за центрофугиране на покритие

Междинночестотното разпръскване също е вид магнетронно разпрашване.

Има много видове магнетронно разпръскване, които могат да бъдат разделени на магнетронно разпръскване с постоянен ток, магнетронно разпрашване с радиочестота и магнетронно разпрашване със средна честота според използвания източник на енергия. Захранването, използвано при DC магнетронно разпрашване, е DC захранване с високо напрежение, обикновено 300-1000 V, което се характеризира с бърза скорост на разпрашаване, ниска цена и евтина поддръжка в по-късен период. Въпреки това, само метални цели могат да бъдат разпръснати. Ако целта е изолатор, с напредването на разпръскването, целта ще натрупа голямо количество заряд, което ще доведе до невъзможност за продължаване на разпръскването. Поради това DC магнетронното разпрашаване обикновено се използва за метални мишени. Поради ниската си цена и проста структура, той се използва широко в индустрията. Честотата на радиочестотното захранване, използвано при радиочестотно магнетронно разпрашаване, обикновено е 13,56 MHz, което може да реши проблема, че DC магнетронното разпрашаване не може да разпръсне изолационни цели. Характеристиките на радиочестотното магнетронно разпрашване са: могат да се разпръскват както изолиращи мишени, така и метални мишени и адхезията между филма и субстрата е силна. Въпреки това, поради сложната структура и устройство, високата цена на радиочестотното захранване, високите разходи за поддръжка, излъчването на човешкото тяло и необходимостта от външна съгласувателна мрежа, той не е подходящ за промишлено производство. Магнетронното разпрашване със средна честота често се използва за реактивно разпрашаване за приготвяне на филми от метални съединения. В допълнение към аргона, малко количество реактивни газове като азот, кислород и др. се добавят към кухината, за да отложат молекулите на тези реактивни газове с атомите на целевия материал. върху субстрата за образуване на филм от метална смес. Тъй като магнетронното разпръскване с постоянен ток се използва широко в промишлеността, масата за магнетронно разпрашване включва вакуумна система, система за разпрашаване на покритие, газ и система за управление.

Приложение

Параметър

Нашата компания

Популярни тагове: машина за центрофугиране на покритие, Китай, доставчици, производители, фабрика, персонализирано, купуване, цена, оферта