Въвеждане на технология за вакуумно изпаряване покритие

Технологията за вакуумно изпарение покритие на производителите на вакуумни покрития машина включва съпротивление изпаряване покритие, покритие за изпаряване на електронен лъч, лазерен лъч изпарение покритие, висока честота индукция отопление изпарение покритие и т.н. Следната таблица изброява характеристиките на няколко технологии за изпарително покритие.

1. Изпаряване на съпротивлението обшивка: Източникът на изпаряване на съпротивлението се използва за изпаряване на материали с ниска точка на топене, като злато, сребро, цинков сулфид, магнезиев флуорид, хром триоксид и др. Източниците на изпаряване на резистентност обикновено са изработени от волфрам, молибден и тантал.

2. Обшивка за изпаряване на електронния лъч: След като филмовият материал се изпари и изпари чрез загряване на електронния лъч, той е важен метод за отопление във вакуумната технология за изпаряване, за да кондензира и образува филм на повърхността на субстрата. Има много видове такива устройства. С широкото приложение на технологията на тънките филми не само изискванията за видовете мембрани са различни, но и изискванията за качеството на мембраните са по-строги. Изпаряването на съпротивата вече не може да отговори на нуждите от изпарение на някои метали и неметални. Източникът на топлина на електронния лъч може да получи много по-голяма енергийна плътност от източника на топлина на съпротивлението, а стойността може да достигне 104-109w / cm2, така че филмът може да се нагрява до 3000-6000c. Това осигурява по-добър източник на топлина за изпарение на огнеупорни метали и неметални материали като волфрам, молибден, германий, SiO2, AI2O3 и др. Освен това, тъй като материалът, който трябва да се изпари, се поставя във воден охлаждан тигел, може да се избегне изпарението на контейнерния материал и реакцията между контейнерния материал и филмовия материал, което е изключително важно за подобряване на чистотата на филма. Освен това топлината може директно да се добави към повърхността на филмовия материал, така че топлинната ефективност е висока, а топлопроводимостта и топлинните загуби на радиация са малки.

3. Високочестотна индукционна отоплителна изпаряна обшивка: Металът се загрява до температурата на изпаряване, като се използва принципът на индукционна загряване. Поставете тигела, съдържащ филмовия материал, в центъра на спиралната намотка (неконтактна), и прекарайте високочестотен ток през бобината, което може да накара металния филмов материал да генерира ток, за да се загрее, докато се изпари.

Характеристиките на индукционния източник на изпаряване на отоплението: 1) Скоростта на изпаряване е голяма 2) Температурата на източника на изпаряване е еднородна и стабилна, и не е лесно да се произведе алуминиев капка пръски феномен 3) Източникът на изпаряване се зарежда по едно време, не се изисква механизъм за подаване на тел, контролът на температурата е сравнително лесен, и операцията е проста 4) За филма Материалните изисквания за чистота са малко по-широки.

4. Обшивка за изпаряване на електродъгово отопление: Метод за отопление, подобен на метода за отопление на електронния лъч, е методът на загряване на дъгата. Също така има характеристиките на избягване замърсяването на съпротивителни отоплителни материали или тигелни материали, а температурата на нагряване е висока, особено подходяща за изпарение на огнеупорни метали, графит и др. с висока точка на топене и определена проводимост. В същото време оборудването, използвано при този метод, е по-просто от това на устройството за отопление на електронния лъч, така че е сравнително евтино устройство за изпаряване.

5. Лазерен лъч изпаряване обшивка: Методът на използване на висока мощност плътност пулсиран лазер за изпарение на материала, за да образуват тънък филм обикновено се нарича лазерно изпарение