Характеристики на дизайна на устройство за сравнение с много чипове на машина за вакуумно покритие

Apr 03, 2022

1) Фиксиран цилиндър 3 Дизайнът на цилиндрична форма, голям диаметър, дебелостенна структура и периферно-симетричен метод на фиксиране могат да осигурят достатъчна здравина и твърдост и в същото време може да предотврати замърсяване на вътрешните му части от високотемпературно разпръскване на абразив , за да се осигури гъвкавостта на въртенето на циферблата 15 .

2) Конструкцията на гнездото за кръгов лагер 2 осигурява уплътнението и вертикалността на монтажа на лагерното гнездо; увеличете диаметъра на вала 1, увеличете разстоянието за монтаж между двата лагера в лагерното гнездо 2, подобрете собствената си здравина и твърдост, гарантирайте, че твърдостта на вала 1 и ротационната гъвкавост на циферблата 15 по време на процеса на въртене са последователни с повторяемостта на позицията.

3) Зареждане на механизма за транспониране, чрез разширяване на диаметъра на опорната плоча 16, ефективната площ на механизма в посока на равнината се увеличава и може да се монтира сравнителен филм с голям диаметър (Φ26,5 mm), което е благоприятно за регулиране на оптичния път и подобрява качеството на оптичния филм; Сравнителната част 12 е направена от едно парче стъкло като единица за сравнение. Сравнителната част приема метода за пространствено триизмерно подреждане. Множество парчета стъкло са подредени и монтирани в цилиндър за съхранение на сравнителни парчета 13, така че 50~100 парчета за сравнение могат да бъдат поставени наведнъж, което решава проблема с машината за нанасяне на покритие. Покритие с многослойни прецизни оптични филми, в сравнение с проблема, че малкият брой листове влияе върху броя на слоевете покритие и точността.

4) Сътрудничеството на позициониращата плоча 6 и оптичния съединител 17, чрез оптичния съединител от прорез, се усещат трите равномерно разделени 120-градусови прореза на позициониращата плоча и въртенето на двигателя се контролира, за да спре . Последователността на въртенето и позиционирането на оста 1 гарантирано се повтаря и циферблатът 15 се задвижва, за да завърши точното действие на набиране.

5) Механизмът за подаване на ротационно уплътнение е въведен в уплътнителния механизъм на Wilson 5, който не само гарантира, че двигателят 9 задвижва гъвкавото въртене на вала 1 чрез зацепване на зъбно колело, но също така осигурява уплътняващия ефект на вакуумната камера към навън. Оптимизираният дизайн на устройството за сравнение с много чипове на машината за вакуумно покритие има следните характеристики: (1) Проста структура, висока якост и добра надеждност; (2) Броят на чиповете за сравнение е голям, ефективността на производството е подобрена и ултра многослойната прецизна оптика може да бъде покрита (3) Диаметърът на сравнителния филм се увеличава, прецизността на наблюдението на филма се подобрява, изискванията към хардуерната система са намалени, а системата е лесна за реализиране на автоматично управление; (4) Разходите за поддръжка са ниски.

Чрез оптимизирания дизайн на устройството за сравнение с множество части на машината за вакуумно покритие, се осигурява гъвкавостта на въртенето на механизма за сравнение и последователността на повторението, както и малката ефективна площ на сравнителната част, неудобното регулиране на оптичният път и съотношението сигнал/шум на оптичния сигнал са решени. Той също така решава проблема с по-малкото натоварване на сравнителни листове, което може значително да подобри качеството на оптичния филм, покрит от съществуващата машина за вакуумно покритие, а оптичният филм с повече от 30 слоя може да бъде покрит. Практиката доказа, че тази сравнителна листова структура е полезна и може да бъде популяризирана и приложена в съвременната индустрия за оптично вакуумно покритие.